PB202 1200x628 Innovaties NL deel 2

Ontdek deze innovaties tijdens de Precisiebeurs (deel 2)

Een wereld zonder precisietechnologie is haast ondenkbaar. Precisietechnologie krijgt de komende jaren een nog grotere betekenis voor de industrie. Toenemende precisie en verregaande miniaturisatie zijn daarvoor de aanleiding. De technologie ontwikkelt zich nog steeds in een hoog tempo, waarbij de grenzen nog lang niet zijn bereikt. Ontdek alle trends tijdens de Precisiebeurs. Graag lichten wij deel 2 van een aantal innovaties voor u uit:

DIXI COOL PLUS concept Polytool | DIXI Polytool | Stand 252
Vlakheidsdetectie van wafers | Attocube Systems AG | Stand 376
Dynamische bewegingscontrole van inzet stadia | Attocube Systems AG | Stand 376
Straalopening en filterpositionering | Attocube Systems AG | Stand 376
Laserstraalaanpassing in metrologie- en inspectietools | Attocube Systems AG | Stand 376
Ultra nauwkeurige positiebepaling in fotolithografie | Attocube Systems AG | Stand 376
Grade 2 koelvloeistof- en reiningsinstallaties | Oude Reimer | Stand 446
Edwards’ APG200 Vacuüm Pirani Gauge | Edwards Vacuum | Stand 375
Edwards’ nEXT turbomoleculaire vacuümpompen | Edwards Vacuum | Stand 375
Edwards’ nXRI meertrapswortels vacuümpompen | Edwards Vacuum | Stand 375
De juiste mix van mens en machine in het assemblageproces | Tegema B.V. an Etteplan company | Stand 433
Automatisering slijpen | RVS Finish & RVS Clean | Stand 385

DIXI COOL PLUS concept Polytool | DIXI Polytool

DIXI Polytool presenteert zijn innovatieve DIXI COOL PLUS concept voor micro -en hoogwaardige  frezen. Mede door de unieke gepatenteerde koelring worden onze precisie gereedschappen optimaal gekoeld. Met ons COOL PLUS concept laten wij het koelmiddel accelereren waardoor met hoge precisie de snijkanten gekoeld geworden. Hierdoor worden de snijkrachten op het gereedschap verminderd tot 50% wat een significant verschil in standtijd geeft. Het COOL PLUS concept bestaat uit een uitgebreide range van standaard frezen. Tevens kunnen wij ook speciale gereedschappen aanbieden op basis van het COOL PLUS concept.  

DIXI Polytool 3262514 2021929162115 IMG 1257 7 logo

Vlakheidsdetectie van wafers | Attocube Systems AG

Tijdens lithografie- en metrologische processen wordt de wafer blootgesteld aan extreme omgevingen, snelle bewegingen en multidimensionale krachten. Deze kunnen elastische of plastische vervormingen veroorzaken. Bijvoorbeeld de beweging van wafelniveaus die werken met magnetische levitatie vervormt het platte oppervlak van de plaat. Om deze vervormingen te verminderen is een nanoprecieze en contactloze detectie vereist. Attocube’s laserinterferometer IDS3010 is in staat om direct op de wafer te meten om dergelijke vervormingen in nanometerbereik vast te leggen. De geminiaturiseerde sensorkoppen maken verschillende meetpunten op één wafer mogelijk om multidimensionale vervormingen te detecteren en werken ook onder extreme omgevingen zoals vacuüm of cleanroom-omstandigheden.

attocube systems AG 3262950 202192916840 Planarity Detection of Wafers

Dynamische bewegingscontrole van wafer stages | Attocube Systems AG

Wafer stages moeten steeds grotere en snellere bewegingen uitvoeren om de doorvoer van het productieproces te vergroten. Bovendien is nanometerpercisie met één cijfer vereist om te zorgen voor dichte circuitpatronen. Deze vereisten kunnen alleen worden bereikt door ultraprecieze sensoren te gebruiken om de bewegingen van de wafertafel te regelen. Met de laserinterferometer IDS3010 van Attocube kunnen meetinstrumenten de vereiste precisie bereiken op nanometerbereik over lange afstanden tot 5 meter met een doelsnelheid van maximaal 2 m/s. De geminiaturiseerde sensorkoppen kunnen direct in de wafertafel worden geïntegreerd. Dit vermindert de bewegende massa aanzienlijk in vergelijke met op het podium bevestigde spiegels.

attocube systems AG 3262950 20219291685 Dynamic Motion Control of Wafer Stages

Straalopening en filterpositionering | Attocube Systems AG

In lithografie- en metrologische processen is de precieze uitlijning en filtering van de bundle direct gerelateerd aan de kwaliteit van de wafer. De laserstraal produceer fotonen die worden verzameld via een verzamelspiegel en via verschillende openingen worden gericht om te raken, bijvoorbeeld het reflectiemasker. Attocube nanopositioners zijn ontworpen om te werken met een lage deeltjesgeneratie bij hoge temperaturen en vacuüm met nanometerprecisie. Dit maakt ze de perfecte keuze voor een betrouwbare diafragmaregeling onder extreme omstandigheden.

attocube systems AG 3262950 202192916718 Beam Aperture and Filter Positioning

Laserstraalaanpassing in metrologie- en inspectietools | Attocube Systems AG

Tijdens het inspectieproces in de wafer stages moet het licht- of laserstraalpad nauwkeurig en continu worden aangepast om controle over het oppervlak uit te voeren om zelfde de kleinste onvolkomenheden te detecteren en gedetailleerde informatie over de kwaliteit van de wafer te verschaffen. Attocube’s nanopositioners zijn ontworpen voor gebruik in ultra-precieze bewegingstoepassing en in extreme omstandigheden en beiden superieure nauwkeurigheid, herhaalbaarheid en resolutie. Dit maakt ze de perfecte componenten voor continue en stabiele straalregeling binnen het metrologischeproces.

attocube systems AG 3262950 202192916526 Laser Beam Adjustment in Metrology and Inspection Tools

Ultra nauwkeurige positiebepaling in fotolithografie | Attocube Systems AG

Tijdens het fotolithografieproces worden circuitpatronen van enkele nanometers groot overgebracht van het fotomasker op de halfgeleider wafer. De ultra precieze positiebepaling en uitlijning van het meetframe, de optica en het waferplatform is een belangrijke voorwaarde om de hoogste kwaliteit tijdens het hele proces te garanderen. Attocube’s laserinterferometer IDS3010 met vacuüm- en hoge temperatuur compatibele sensorkoppen kan eenvoudig worden geïntegreerd in lithografiemachines, waardoor de beste uitlijning tussen de belangrijkste componenten met nanometernauwkeurigheid wordt gegarandeerd en senlle gegevens worden geleverd met een bandbreedte tot 10 MHz.

attocube systems AG 3262950 202192916416 Ultra Precise Position Tracking in Photolithography2

Grade 2 koelvloeistof- en reinigingsinstallaties | Oude Reimer

Na een intensief traject naar de beste product oplossingen kan Oude Reimer als eerste toeleverancier van Nederland – en de wereld - melden dat zowel de koelvloeistof als de reinigingsinstallatie gecertificeerd zijn volgens de ASML Grade 2 specificaties.

Door middel van Rest Gas Analyses (RGAs) kon Omneo Systems aantonen dat de Karl-Roll reinigingsinstallatie in staat is om aan de eisen te voldoen van respectievelijk ASML.

Oude Reimer 3263293 2021929141225 Grade 2 certificeringen koelvloeistof en reinigingsinstallaties

Edwards’ APG200 Vacuüm Pirani Gauge | Edwards Vacuum

Edwards Vacuum, een van de marktleiders op het gebied van vacuüminstrumentatie, heeft zijn nieuwe APG200 hoogwaardige Pirani-meter gelanceerd, die echte prestatieverbeteringen en kostenvoordelen oplevert. Het is de perfecte meetoplossing voor een groot aantal toepassingen dankzij het compacte formaat, het eenvoudige onderhoud, de geïntegreerde instelpunten en de lagere kosten. De APG200 is geschikt voor alle vacuümmarkten, van analytische instrumenten die kunnen profiteren van de kleinere afmetingen en flexibele outputs, tot halfgeleiders waarvoor de nieuwe interfaces beter onderhoud van systemen mogelijk maken, tot onderzoek en ontwikkeling waarvoor de lokale drukindicatie helpt bij het bewaken van experimenten.

Edwards Vacuum 3264958 202192814445 APG200 Main image to use

Edwards’ nEXT turbomoleculaire vacuümpompen | Edwards Vacuum

Edwards heeft zijn assortiment nEXT-turbomoleculaire pompen uitgebreid met het meest compacte model en het krachtigste model tot nu toe. Aan het beproefde en vertrouwde nEXT-turbomoleculaire pompassortiment, met nu meer dan 100.000 geproduceerde nEXT-eenheden, zijn twee nieuwe modellen toegevoegd, waardoor het pompvermogen van het assortiment is uitgebreid van 55 tot 1.250 l/s. De nieuwe nEXT55 is ontworpen voor wetenschappelijke OEM-klanten en systeembouwers, terwijl de nieuwe nEXT1230 de keuze van klanten voor nEXT-oplossingen verhoogt waar hoge pompsnelheden nodig zijn. Edwards uitgebreide ervaring en bewezen technologieën garanderen een hoge betrouwbaarheid, langere werking en lange onderhoudsintervallen.

Edwards Vacuum 3264958 2021928135957 nEXT Family Photo

Edwards’ nXRI meertrapswortels vacuümpompen | Edwards Vacuum

Edwards Vacuum heeft een revolutie teweeggebracht in de pompmarkt met zijn hoogwaardige compacte droge vacuümpomp, die de hoogste pompdichtheid in zijn soort biedt. Het nXRI-assortiment is de perfecte vacuümoplossing voor uw R&D- en laboratoriumomgeving dankzij het compacte formaat en het lage stroomverbruik, betrouwbare prestaties en lagere kosten. Het assortiment, bestaande uit 5 modellen met pompsnelheden van 30 tot 120 m3h-1, wordt geleverd met een lager ingangsvermogen en geen onderhoud, wat echte prestatieverbeteringen en kostenvoordelen oplevert voor een reeks toepassingen. nXRi’s compacte voetafdruk, lage gewicht en hoogte zorgen ervoor dat hij gemakkelijk onder een werkblad past.

De juiste mix van mens en machine in het assemblageproces | Tegema B.V. an Etteplan company | Stand 433

Tegema demonstreert een assemblageproces van een fotonische dummycomponent. De opzet laat zien hoe de mens ondersteund kan worden door automatisering. Door het gebruik van een co-bot wordt de operator ontlast van repetitieve handelingen die een hoge mate van nauwkeurigheid vereisen. Gedeeltelijk automatiseren van processen, zoals hier wordt aangetoond, is meestal nutting in de high-mix low-volume productie, omdat volledige automatisering financieel niet lonend is vanwege kleine batches en productiehoeveelheden, maar automatisering helpt wel bij het optimaliseren van de doorvoer en het verminderen van fouten. De opstelling beidt de operator verdere ondersteuning door het gebruik van tooling en techniek in de lijn. Bijvoorbeeld door het gebruik van de p2L-unit, de elektrische schroevendraaien en de montagemal.

Tegema B.V. an Etteplan company 3262546 2021923132137 MACHINE GEHEEL 5

Automatisering slijpen | RVS Finish & RVS

RVS Finish & RVS is er als eerste in geslaagd het handmatig, ambachtelijk slijpproces volledig te automatiseren met een robot. Ambachtelijke slijpers worden omgeschoold tot programmeurs. Onze klant krijgt gegarandeerd constante kwaliteit en kwantiteit.

RVS finish

Bezoek de Precisiebeurs gratis! Registreer hier uw gratis bezoek.