• 14:00-14:25

Ontwikkeling en Opschaling van een MEMS gebaseerde Mass-Flow sensor

  • Ir. Quinten Rensen
  • Bronkhorst High-Tech

Bronkhorst High-Tech ontwikkelt en produceert al ruim 40 jaar slimme, duurzame en klant specifieke oplossingen op het gebied van low flow fluidics handling vraagstukken. De focus ligt hierbij op meet- en regelinstrumenten (gas en vloeistof). Afgelopen jaar presenteerde Bronkhorst een volledig nieuwe productlijn, waarin een eveneens volledig nieuwe MEMS-gebaseerde (Micro Elektro Mechanisch Systeem) mass-flow sensor wordt toegepast. Deze presentatie geeft een inkijkje in het ontwikkeltraject van deze sensor, waarbij zowel de sensor als het productieproces (rekening houdend met opschaling) in korte tijd ontwikkeld moesten worden.